特種氣體從應用領域來看,主要包括電子氣體、標準氣體、激光q氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業(yè)的加工制造過程,是下游關鍵性化工基礎材料,被譽為電子產業(yè)的“血液”。特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,隨著科學研究、自動化技術、精密檢測(特別是微電子技術)的發(fā)展,特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力,廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜新興行業(yè)。特種氣體的儲存注意事項:根據儲存的氣體類型設置標牌,如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。







特種氣體種類:電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。滅菌特種氣體由于它的活潑型,殺菌力強、殺菌譜廣,對物品損害輕微等優(yōu)點,已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,特種氣體指半導體生產環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,


特種氣體指半導體生產環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領域。
